| 加工定制：是 | 品牌：福润德 | 型号：FRD-046 |
| 功率：2000W | 最大电压：380V | 额定温度：1200℃ |
| 主要用途：退火,扩散 | 产品认证：CCC | 控制方式：PID |
炉管配置：1-4管/台
晶圆规格：4"、5"、6"、8"
炉体控制段：3/5段
恒温区长：760（800）mm / 1000mm
反应室配置：石英管/碳化硅管
加热体材料：KANTHAL APM/A-1 或相当
温度均匀性：800-1300℃ /±0.5℃
300-900℃ /±1℃
工艺温度范围：300-1300℃
可控升温速度：15-20℃/min
降温速度：（1250～1000℃ ) 8℃/min
控制系统：工业计算机(10"-15"液晶屏)
送片系统：SiC悬臂/双石英杆
净化等级：100级或更好
净化风流：水平或垂直
送片速度：100mm-500mm/min
定位精度：2mm
气源气路：EP级316L管道1/4"或3/8"
阀门组件：SWAGELOK或相当
管道焊接：自动轨道焊接
工艺***：提供典型的工艺
